|
Интерферометры для контроля точности формы оптических поверхностей
Производственный интерферометр OPTOTL-ICO -60,
разработанный в ЗАО "Опто-Технологическая Лаборатория", предназначен для
технологического контроля точности формы плоских и сферических полированных
оптических поверхностей. Данный цеховой интерферометр может найти применение на
оптических производствах, где изготавливаются различные оптические элементы и
сборки оптических деталей (объективы и т.п.).
Небольшие размеры и компактность основного интерферометрического узла прибора (диаметр - порядка 80 мм и длина - порядка 250 мм) позволяют устанавливать его непосредственно на рабочих местах оптиков, а также встраивать в различные оптические схемы: с эталонными объективами, с компенсаторами для асферических
поверхностей, с адаптивными зеркалами.
Производственный интерферометр создан на основе
общеизвестной схемы Физо, но для его конструкции разработаны и запатентованы
некоторые новые узлы. Прибор оснащен программным обеспечением FastInterf,
специально модернизированным для быстрой и точной обработки интерферометрических
измерений, а также для простоты использования.
Главные отличительные особенности цехового интерферометра OPTOTL-ICO -60:
- небольшие габариты;
- простота работы с прибором и программным обеспечением;
- быстрота юстировки, что достигается благодаря большому полю зрения
юстировочного канала и наличию у него дополнительного монитора;
- модульный принцип конструкции, благодаря чему прибор можно легко
модернизировать, используя одни и те же модули на разных рабочих местах в
пределах одного оптического участка, избегая затрат на приобретение
дополнительного оборудования.
Конструктивные элементы цехового интерферометра:
- основной оптико-механический блок;
- мониторы для юстировки и визуализации интерференционной картины;
- набор эталонных объективов (насадок);
- компьютер с программным обеспечением.
Основной блок:
- апертура коллиматора - 60 мм
- габаритные размеры основного блока (без осветителя) - диаметр 80 мм,
длина 250 мм;
- источник света - лазер твердотельный 532 нм;
- кратность изменения масштаба изображения - до 10Х;
- ручная фокусировка в широких пределах для исключения влияния дифракции;
- вертикальное расположение "эталон сверху - деталь снизу" - для контроля
оптических поверхностей деталей на блоке;
- измерение проходящего волнового фронта (при наличии дополнительного
эталона)
Мониторы:
- монитор юстировочного канала;
- монитор для визуализации интерференционной картины.
Наличие двух, расположенных рядом, мониторов значительно облегчает юстировку.
Набор эталонных объективов:
- эталонный расширитель для контроля плоских поверхностей с диаметром до
120 мм;
- количество насадок в стандартном наборе - 14 шт.;
- аттестованная (на интерферометре Zygo GPI ?/20) точность формы эталонной
поверхности -?/10;
- пределы изменения числовой апертуры насадок - 1:0.8 - 1:15;
- пределы радиусов контролируемых поверхностей с полным комплектом насадок
1000CC - 900CX мм.
Для расширения диапазона контролируемых радиусов возможно изготовление
специальных насадок.
Программное обеспечение:
- вычисление всех стандартных параметров, характеризующих точность формы оптической поверхности: размах ошибки (P-V), средне-квадратичная ошибка (RMS), расфокусировка, аберрации, полиномы Цернике;
- представление результатов в разных видах, в том числе в виде 3D топографии поверхности;
- вывод синтезированной интерференционной картины на экран - для визуальной оценки адекватности расчета.
Название модели производственного интерферометра ICO (Interferometer Comes
to Optician), или в русской версии ИКО (Интерферометр Каждому Оптику),
отражает основное назначение прибора. Он позволяет оптиками контролировать
точные оптические поверхности на своих рабочих местах.
Наш опыт показывает, что в небольшом оптическом цехе (12-15 оптиков) достаточно установить:
- три основных блока;
- один компьютер с программным обеспечением;
- один комплект насадок.
Конечно, несколько пользователей не смогут одновременно работать с одним
программным обеспечением, но это не замедлит работу, т.к. юстировка, которая
занимает наибольшее время, осуществляется на основных блоках, оснащенных своими
мониторами для настройки и наблюдения интерференционных картин.
Специалисты фирмы решают задачи модернизации цеховых интерферометров под
конкретные задачи заказчиков без существенного увеличения стоимости приборов.
|
